一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘
基本信息
| 申请号 | CN202123393055.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216998558U | 公开（公告）日 | 2022-07-19 |
| 申请公布号 | CN216998558U | 申请公布日 | 2022-07-19 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张颖;宋辉;陆晓峰;康强;邬健培;马洋;张星翔 | 申请（专利权）人 | 宁波云涂科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波协众智库专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 315000浙江省宁波市鄞州区姜山镇雁湖路721号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种工装盘，更具体地涉及一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘，其中所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括一盘体，所述盘体具有一开口和一腔体，所述盘体的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔；一盖板，所述盖板被固定连接于形成所述开口的壁面，所述盖板的中心具有一贯穿所述盖板的第一插入孔；一第一转动件，所述第一转动件的一端被插入到所述第一装配孔；一第一转动杆和一底盘，所述第一转动件的一端与所述底盘的一端固定连接，且所述底盘背离所述第一转动杆的一端与所述第一转动件卡接连接。本实用新型能通过有效地利用其自身的结构配置实现移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷的优势。 |
