一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010996873.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112144021A 公开(公告)日 2020-12-29
申请公布号 CN112144021A 申请公布日 2020-12-29
分类号 C23C14/32(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 马洋;陈超;康强 申请(专利权)人 宁波云涂科技有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 李红霖
地址 315191浙江省杭州市鄞州区姜山镇雁湖路721号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法,属于疏水涂层领域。本发明的制备方法,包括:(1)以高频电刀为基体,采用多弧离子镀溅射Cr靶,在所述基体上沉积Cr层;(2)采用多弧离子镀溅射Cr靶、TiAl靶,溅射离子与溅射腔体内的N2反应,在Cr层上沉积CrTiAlN,同时采用射频磁控溅射PTFE靶,得到共溅射的CrTiAlN‑PTFE涂层,共溅射完成后得到适用于高频电刀的疏水性硬质涂层。发明的制备方法,采用多弧离子镀和磁控溅射复合设备进行涂层沉积,能够充分发挥两种两种物理气相沉积方法的优势:多弧离子镀制备涂层沉积速率快,结合力强;磁控溅射可制备非金属涂层,涂层致密均匀。