一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202010996873.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112144021A | 公开(公告)日 | 2020-12-29 |
申请公布号 | CN112144021A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 马洋;陈超;康强 | 申请(专利权)人 | 宁波云涂科技有限公司 |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 李红霖 |
地址 | 315191浙江省杭州市鄞州区姜山镇雁湖路721号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种适用于高频电刀的疏水性硬质涂层及其制备方法,属于疏水涂层领域。本发明的制备方法,包括:(1)以高频电刀为基体,采用多弧离子镀溅射Cr靶,在所述基体上沉积Cr层;(2)采用多弧离子镀溅射Cr靶、TiAl靶,溅射离子与溅射腔体内的N2反应,在Cr层上沉积CrTiAlN,同时采用射频磁控溅射PTFE靶,得到共溅射的CrTiAlN‑PTFE涂层,共溅射完成后得到适用于高频电刀的疏水性硬质涂层。发明的制备方法,采用多弧离子镀和磁控溅射复合设备进行涂层沉积,能够充分发挥两种两种物理气相沉积方法的优势:多弧离子镀制备涂层沉积速率快,结合力强;磁控溅射可制备非金属涂层,涂层致密均匀。 |
