一种用于磁控溅射实现管件产品高热梯度薄膜沉积的装置及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210007574.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114525484A | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN114525484A | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 马洋;张星翔;宋辉;张颖;陆晓峰;康强;邬健培 | 申请（专利权）人 | 宁波云涂科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波协众智库专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 315000浙江省宁波市鄞州区姜山镇雁湖路721号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及电镀领域，更具体地涉及一种用于磁控溅射实现管件产品高热梯度薄膜沉积的装置及其工作方法，所述用于磁控溅射实现管件产品高热梯度薄膜沉积的装置包括一自旋装置，所述自旋装置被用于安装一长管产品，其中所述自旋装置包括一第一连接件，所述第一连接件的顶部具有一进水口，且所述第一连接件的侧壁具有一出水口，且所述第一连接件具有一进水管和一出水管；一管体；一第二转动件，所述第二转动件具有一通孔，所述长管产品与所述通孔背离所述管体的一端可拆卸连接；以及一冷却装置，所述进水口和所述出水口均与所述冷却装置相连。本发明通过有效地利用其自身的结构配置实现能镀膜长管产品、结构简单、使用便捷的优势。 |
