一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510974804.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105441890B | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN105441890B | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/06 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱晓东;商琛;李倩叶;邱龙时;徐可为 | 申请（专利权）人 | 宁波云涂科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 岳培华 |
| 地址 | 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面形成了获得了C、B元素含量适当的Mo‑B‑C‑N四元硬质涂层，即高温低摩擦系数硬质涂层，通过调节复合靶中B4C的面积，使得该涂层中B和C的含量容易控制。该涂层中C、B、Mo、N元素的原子百分比分别为2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。该方法工艺简单，易于实施。本发明制得的高温低摩擦系数硬质涂层克服了现有硬质镀层性能的不足，兼备硬度高、耐磨和高温低摩擦系数的特点，使其在高速切削工具上具有良好的推广应用前景。 |
