一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010997898.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112159955B 公开(公告)日 2022-05-13
申请公布号 CN112159955B 申请公布日 2022-05-13
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;B29C33/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 张星翔;马洋;张颖 申请(专利权)人 宁波云涂科技有限公司
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 -
地址 315191浙江省杭州市鄞州区姜山镇雁湖路721号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法,涉及疏水涂层领域。本发明的制备方法,采用带有离子束辅助装置的多弧离子镀设备依次沉积Cr层和CrTiAlN层,之后使用中能碳离子束进行照射,刻蚀的同时碳离子也会注入到CrTiAlN层内部,形成的CrTiAlCN金属碳化物,金属碳化物具有比其氮化物更高的硬度,进一步提高整个涂层的硬度和耐磨性;中能碳离子束处理之后得到的CrTiAlCN,在保留CrTiAlN膜层硬质耐磨性的基础上,进一步提高了其疏水性;碳还具有良好的减摩自润滑性能,降低涂层表面磨损和高分子材料粘附;本发明的制备方法,工艺简单,能够直接应用于工业大规模生成。