一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202210210319.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574862A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574862A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C23F1/08;C23F1/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王文涛;张亮旗;王世权 | 申请（专利权）人 | 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 何树良 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市黄江镇刁朗金朗三街22号1栋101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及蚀刻加工技术领域，尤其是指一种风力辅助非等深结构蚀刻加工装置及加工方法，该加工装置包括传输机构、输液机构以及吹风机构，所述传输机构用于传输工件，所述输液机构包括限位板、输液件以及多个阵列设置于所述输液件的喷头，所述限位板用于盖设在工件顶部，所述限位板设置有若干条限位槽，工件带蚀刻的位置经限位槽显露在喷头的下方，喷头用于往限位槽喷洒蚀刻液；所述吹风机构用于吹动限位槽内的蚀刻液以使得蚀刻液在工件上蚀刻形成非等深的微槽结构。本发明通过设置有吹风机构，使得蚀刻液在气流辅助作用下呈区域性分布，蚀刻均匀；让蚀刻深度过渡更加平缓，加工效率高；同时可控制侧壁蚀刻液流动状态，生成可控形貌结构。 |
