一种具有高效毛细性能的湿法刻蚀Ω形凹槽金属片
基本信息
| 申请号 | CN202220476058.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216793673U | 公开（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申请公布号 | CN216793673U | 申请公布日 | 2022-06-21 |
| 分类号 | H01L23/367（2006.01）I;H01L23/373（2006.01）I;H01L21/48（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王文涛;张亮旗;王世权 | 申请（专利权）人 | 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司 |
| 代理机构 | 广东科言知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 523000广东省东莞市黄江镇刁朗金朗三街22号1栋101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及散热件技术领域，尤其是指一种具有高效毛细性能的湿法刻蚀Ω形凹槽金属片，包括本体以及多个并排设置于所述本体的凹槽，所述凹槽通过蚀刻成型，所述凹槽包括直槽和弧形槽，所述直槽与弧形槽连通，所述直槽与外界连通，所述直槽的深度与弧形槽的等效半径之比为0.2‑1:1，所述直槽的宽度与弧形槽的等效半径之间为0.3‑0.7:1。本实用新型的凹槽经由蚀刻成型，由于蚀刻液作用具有反应速率不大等优点，因此本实用新型相较于现有技术具有尺寸小和精度高的优势。 |
