一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法

基本信息

申请号 CN201610024316.3 申请日 -
公开(公告)号 CN106970081A 公开(公告)日 2017-07-21
申请公布号 CN106970081A 申请公布日 2017-07-21
分类号 G01N21/88 分类 测量;测试;
发明人 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 申请(专利权)人 杭州晶鑫科技有限公司
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 尉伟敏;赵越剑
地址 311222 浙江省杭州市滨江区江东工业园区青六北路668号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法,将干燥好的石英坩埚进行表面吹尘处理后,用装有纯水的喷壶,对坩埚检验区域进行喷水,同时用500W的碘钨灯进行透光照射来检查发现坩埚中存在的裂纹。本发明能准确发现细微裂纹,操作简单快捷,效率高。