一种超高纯涂层石英坩埚的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201610041183.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106986554B | 公开（公告）日 | 2017-07-28 |
| 申请公布号 | CN106986554B | 申请公布日 | 2017-07-28 |
| 分类号 | C03C17/23(2006.01)I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 | 申请（专利权）人 | 杭州晶鑫科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏;赵越剑 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市大江东产业集聚区江东三路6515号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超高纯涂层石英坩埚的制作方法，以超高纯石英砂作为原料，通过球磨、混料搅拌制成料浆，采用流延、喷涂或刷涂工艺在石英坩埚上制成一种超高纯涂层，降低了坩埚渗透至多晶硅锭的杂质量，提升了硅锭质量，降低了多晶硅铸锭成本。 |
