一种石英坩埚生坯的缺陷检验方法

基本信息

申请号 CN201610027797.3 申请日 -
公开(公告)号 CN106979954B 公开(公告)日 2019-09-03
申请公布号 CN106979954B 申请公布日 2019-09-03
分类号 G01N21/91;G01N21/88 分类 测量;测试;
发明人 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 申请(专利权)人 杭州晶鑫科技有限公司
代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人 尉伟敏;赵越剑
地址 310000 浙江省杭州市大江东产业集聚区江东三路6515号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种石英坩埚生坯的缺陷检验方法,将干燥好的石英方坩埚生坯放置于检验平台上,在普通光照条件下,先通过目视方法检查坩埚内外表面是否有气泡、色斑、异物等外观缺陷,再用裂纹检测液,刷涂在需要检验的区域,来找出裂纹缺陷。相比常规检验方式本发明能够提高裂纹检出率,缩短检验作业时间,提高作业效率,降低生产成本。