一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法
基本信息
申请号 | CN201610024316.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106970081B | 公开(公告)日 | 2019-09-03 |
申请公布号 | CN106970081B | 申请公布日 | 2019-09-03 |
分类号 | G01N21/88 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 周勇;李卫;川上泉;寺西久広;占克文 | 申请(专利权)人 | 杭州晶鑫科技有限公司 |
代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 尉伟敏;赵越剑 |
地址 | 310000 浙江省杭州市大江东产业集聚区江东三路6515号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种石英坩埚成品的裂纹缺陷检验方法,将干燥好的石英坩埚进行表面吹尘处理后,用装有纯水的喷壶,对坩埚检验区域进行喷水,同时用500W的碘钨灯进行透光照射来检查发现坩埚中存在的裂纹。本发明能准确发现细微裂纹,操作简单快捷,效率高。 |
