难加工材料用细化晶粒型高铝涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110160646.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112981333A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112981333A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 常新新;金章斌;王弢;邓晓良;马高;姜鑫;贺胜;何江海 | 申请（专利权）人 | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州新知行知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 郑丽玲 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区科智路9号3幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明一种难加工材料用细化晶粒型高铝涂层的制备方法，该方法包括下列步骤：将基材清洗烘干后装夹到转架上，并将转架推入涂层炉内→Ar+、H+离子清洗→Ar+离子清洗→形成Ti嵌入式纳米层→细化高内应力AlTiN层→冷却→后处理，得到基材表面的细化晶粒型高铝涂层。本发明通过保证了涂层炉长期稳定在550～600°以上的工艺温度，提升靶材离化率，从而能够形成更稳定的AlTiN结构；通过采用组合磁场以及直流电源+矩形脉冲电源的组合电源来改善颗粒度，用电弧方式得到粗糙度更好的涂层；嵌入式Ti纳米层保证了在高偏压下得到的高内应力AlTiN涂层与基材之间有效的结合力，提高了基材的导热性能。 |
