半导体器件
基本信息
申请号 | CN202022858654.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214123885U | 公开(公告)日 | 2021-09-03 |
申请公布号 | CN214123885U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
分类号 | H01L29/861(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 那雪梅;张文文;喻洋;李吉锋 | 申请(专利权)人 | 杭州士兰集成电路有限公司 |
代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡纯;李镇江 |
地址 | 310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街(东)308号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 公开了一种半导体器件,包括:衬底;第一外延层,位于衬底上;呈阵列排列的多个掺杂沟槽结构,多个掺杂沟槽结构位于第一外延层中,多个掺杂沟槽结构自第一外延层向衬底延伸;位于第一外延层中的隔离沟槽结构,隔离沟槽结构自第一外延层向衬底延伸,隔离沟槽结构包围多个掺杂沟槽结构;位于第一外延层中的注入区,注入区与多个掺杂沟槽结构电连接。本实用新型的半导体器件提高了器件的浪涌防护能力,降低了器件的钳位电压。 |
