首页/ 杭州士兰集成电路有限公司/ 专利详情

生物传感器芯片的针尖结构

基本信息

申请号 CN202120026924.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214122090U 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN214122090U 申请公布日 2021-09-03
分类号 G01N27/26（2006.01）I;G01N27/327（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张意潇;陈洪雷;夏志平;叶青青 申请（专利权）人 杭州士兰集成电路有限公司
代理机构 上海思捷知识产权代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 310018浙江省杭州市经济技术开发区10号大街（东）308号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种生物传感器芯片的针尖结构，包括多个检测部件，每个所述检测部件包括探针信号传导层以及位于所述探针信号传导层上方的探针，每个所述检测部件还包括位于所述探针信号传导层与所述探针之间的探针应力缓冲导电层。通过在探针与探针信号传导层之间增加探针应力缓冲导电层用于改善应力匹配问题，从而使探针在水平面上不会出现高低不平的现象，保证探针能够同时检测信号。探针应力缓冲导电层选用与探针以及探针信号传导层导电性能近似的金属，不会影响到信号的传递。