瞬间电压抑制器件及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110340545.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113130477A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113130477A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H01L27/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王英杰 | 申请（专利权）人 | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | 代理人 | 岳丹丹 |
| 地址 | 310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街（东）308号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种瞬间电压抑制器件及其制造方法，包括：半导体衬底；第一外延层，位于半导体衬底上；多个隔离结构，贯穿第一外延层并延伸至半导体衬底中，多个隔离结构将瞬间电压抑制器在横向方向上分为多个区域，多个区域包括稳压区域和至少一组导向二极管区域，每组导向二极管区域包括第一区域和第二区域；多个第一沟槽结构，位于稳压区域中，贯穿第一外延层；第一注入区，位于第二区域和稳压区域的第一外延层中；第二注入区，位于第一区域和第二区域的第一外延层中。本申请在稳压区域中形成钳位二极管和三极管，钳位二极管和三极管组成复合稳压管，两者同时分担电流，提高击穿方向上的峰‑峰值电流，降低大电流导通时的钳位电压，减小器件的尺寸。 |
