一种单晶炉用电极结构
基本信息
申请号 | CN201821180146.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208949446U | 公开(公告)日 | 2019-06-07 |
申请公布号 | CN208949446U | 申请公布日 | 2019-06-07 |
分类号 | C30B35/00;C30B29/20 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 左洪波;杨鑫宏;李铁;周德印 | 申请(专利权)人 | 哈尔滨鎏霞光电技术有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种单晶炉用电极结构,它是由拼接在一起的两块电极板,可安装铜电极连接板的凹槽和安装在电极板上的铜柱结构组成。两块电极板安装在一起呈圆形或方形,内侧开有凹槽,电极板内部为中空结构,可安装铜电极连接板的凹槽上有内螺纹,方便两者之间连接固定;安装在电极板上的铜柱为中空结构,两端有外螺纹,分别与电极板和冷却水的接头连接,中间部分与电源连接。本实用新型电极结构可以增大与发热体上铜电极连接板的接触面积,提高稳定性,冷却水可以在电极板内部流通带走热量,减少因内部温度过高对电极的损坏,同时可以铜柱结构任意调节电极板与大炉盖之间的距离,使单晶炉内的温度梯度分布更合理,利于蓝宝石单晶的生长。 |
