一种桌面型纳米压印设备

基本信息

申请号 CN202120670365.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214375810U 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN214375810U 申请公布日 2021-10-08
分类号 G03F7/00(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 冀然 申请(专利权)人 青岛天仁微纳科技有限责任公司
代理机构 山东重诺律师事务所 代理人 王鹏里
地址 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种桌面型纳米压印设备,包括台盘,台盘上端吸附装配有基底,基底上端涂附有胶体,胶体上端紧贴有PET,PET左右两端夹紧装配有固定单元,右侧的固定单元固定装配有移动单元,移动单元中间插接装配有移动单元支撑杆,PET上端紧贴有紫外固化单元,紫外固化单元左端固定装配有压印单元,压印单元左端固定装配有压印单元支撑杆;方案可同时完成母模复制和压印,一机多用,在压印完成后立即曝光,压印速度快,提高生产效率可自动压印,工艺过程中无需人工干预,自动化程度高,通过固定装置控制PET和基底之间的距离,准确控制压印厚度,保证了大面积压印的均匀性。