一种可精确控制厚度的软膜复制设备
基本信息
| 申请号 | CN202120671217.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214311287U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214311287U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 山东重诺律师事务所 | 代理人 | 王鹏里 |
| 地址 | 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可精确控制厚度的软膜复制设备，包括工作台，工作台的中心处固定装配有基板托盘，基板托盘的表面吸附固定有硅片，基板托盘的底部固定安装有加热板，工作台的顶部通过调节机构装配有盖板，盖板的中心处开设有装配槽。通过基板托盘对硅片进行吸附固定，通过盖板对工作模板进行吸附固定，可以通过加热板对基板托盘的加热，使其完成对工作模板的复制操作，通过本装置不仅可以使对工作模板的复制更加简单、方便，而且通过呈三角形设置的调节机构可以保证盖板下降过程的稳定，使其涂抹在硅片表面的复刻滴胶更加均匀的分布在硅片与工作模板之间。 |
