一种旋涂设备用晶圆传送装置
基本信息
| 申请号 | CN202120373379.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214336685U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214336685U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 山东重诺律师事务所 | 代理人 | 王鹏里 |
| 地址 | 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种旋涂设备用晶圆传送装置，包括传送带、转动机柱、升降机柱、转动轴和环形取片夹具，转动机柱和升降机柱装配于传送带的后侧，转动轴固定安装于升降机柱的上端，转动装配座的中部装配有电动转轴，两个环形取片夹具装配于电动转轴的外侧，可防止基片表面旋涂的胶被蹭，传送带带动晶圆盒向前传输，此时右侧门打开，真空吸笔吸附在基片背面，绕转动轴旋转180°，加热盘上的PIN针升起，基片正面向上放置在PIN针上，PIN针缓慢落下进行加热。加热完成后，PIN针升起，真空吸笔4吸附基片背面完成180°翻转，置入晶圆盒内，然后传送带带动晶圆盒回到左侧，可继续进行旋涂。 |
