一种晶圆存放箱
基本信息
| 申请号 | CN202023311654.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214421045U | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN214421045U | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | B65D25/02（2006.01）I;B65D25/04（2006.01）I;B65D25/52（2006.01）I;B65D77/24（2006.01）I;B65D85/86（2006.01）I;B65D25/20（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 山东重诺律师事务所 | 代理人 | 王鹏里 |
| 地址 | 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆存放箱，包括箱体，箱体的内腔通过隔板设置有存放腔，存放腔的侧壁铰接有开关门，箱体的侧壁开设有装配槽，装配槽内滑动连接有真空笔放置架，真空笔放置架的内腔装配有与装配槽相卡接的定位机构，真空笔放置架内开设有卡槽，卡槽内卡接有真空笔。通过存放腔内的存放架可以同时存放多片晶圆，在箱体的侧壁卡接有真空笔放置架，通过真空笔放置架内的真空笔可以用于对存放腔内晶圆的拿取，真空笔放置架可以通过定位机构进行位置的调节，通过真空笔对晶圆进行拿取更加方便，减少人为造成的晶圆磨损。 |
