一种可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备

基本信息

申请号 CN202120671232.5 申请日 -
公开(公告)号 CN214409580U 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN214409580U 申请公布日 2021-10-15
分类号 G03F7/00(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 冀然 申请(专利权)人 青岛天仁微纳科技有限责任公司
代理机构 山东重诺律师事务所 代理人 王鹏里
地址 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备,所述PET承载单元的下方设有固定设有圆形基片承载单元,操作台上固定安装有厚度控制单元,且厚度控制单元分为相同的两组分别位于圆形基片承载单元的两侧,所述PET承载单元的下端右侧固定安装有PET,所述圆形基片承载单元的上端固定安装有基片。因为旋涂用的胶体要满足良好的流动性,保证结构填充完整,一般会添加溶剂导致其无法填充较深的纳米结构,所以无法旋涂匀胶的方式获得均匀的大于10微米的胶层的问题,本实用新型能够精确控制压印胶层的最终厚度,并保证整片胶层厚度的均匀性。