一种具有自清洁结构的纳米压印设备
基本信息
| 申请号 | CN202120306910.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214375809U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214375809U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I;B01D46/12（2006.01）I;B01D53/00（2006.01）I;H05F3/04（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 山东重诺律师事务所 | 代理人 | 王鹏里 |
| 地址 | 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种具有自清洁结构的纳米压印设备，包括框架，框架上固定装配有过滤排气单元，过滤排气单元上部底面装配有驱动结构，过滤排气单元下部顶面固定装配有真空泵，真空泵上端固定装配有台盘，驱动结构下端和框架上装配有清洁单元，台盘和清洁单元与真空泵匹配使用；方案采用高过滤排气单元保证设备内部空气从上到下进行过滤循环，提高设备使用时的洁净度；方案采用清洁单元将台盘上的粘连的灰尘清理下来，并将重新掉落在台盘上的灰尘颗粒吸走，实现彻底的清洁效果；去离子风扇可产生大量的正负电荷中和静电，消除静电，防止产生二次污染。 |
