一种晶圆初步目检装置
基本信息
| 申请号 | CN202120306913.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214374387U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214374387U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 山东重诺律师事务所 | 代理人 | 王鹏里 |
| 地址 | 266109山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆初步目检装置，包括主机柜和检测箱，主机柜的上侧放置有显示屏，检测箱的前侧铰接有透视门，检测箱和透视门为圆筒形结构，检测箱的内部安装有移动装置，移动装置的下侧安装有镜头，检测箱的内部下侧固定安装有旋转电机，旋转电机的输出轴上侧固定安装有真空吸盘，检测箱的内部固定安装有支撑环，支撑环的上表面内侧均匀固定安装有万向支撑球，万向支撑球的球体上端与真空吸盘贴合，支撑环的上表面外侧安装有对中装置。本装置能够对放置的晶圆定位吸附、自动检测和筛分对比，避免遗漏缺陷，实现初步目检工作的自动化，节省人工、提高工作效率、减少筛分误差。 |
