一种光刻胶保护材料以及使用其形成金属网格的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111210298.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113845805A | 公开（公告）日 | 2021-12-28 |
| 申请公布号 | CN113845805A | 申请公布日 | 2021-12-28 |
| 分类号 | C09D129/04（2006.01）I;C09D127/18（2006.01）I;C09D7/65（2018.01）I;G03F7/20（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 李阳;王钧;江建国 | 申请（专利权）人 | 浙江鑫柔科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市中伦律师事务所 | 代理人 | 王奕勋 |
| 地址 | 314500浙江省嘉兴市桐乡市乌镇镇经发路302号9幢一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻胶保护材料以及使用其形成金属网格的方法，所述光刻胶保护材料包含以下组分：（A）消泡剂；（B）表面活性剂；（C）流平剂；（D）聚烯醇；（E）高化学惰性透明聚合物颗粒；（F）去离子水。本发明的光刻胶保护材料具有极好的防粘黏特性，可以减少在接触式曝光过程中对光罩表面的污染，在进行接触式掩膜UV曝光过程中不会对光罩产生粘黏；在涂布后曝光的过程中，也不会因为引入的颗粒而对UV光固化层固化效果产生影响。 |
