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一种用于在基板上形成金属网格的方法

基本信息

申请号 CN202110750248.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113485581A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113485581A 申请公布日 2021-10-08
分类号 G06F3/041（2006.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 王钧;李阳;江建国 申请（专利权）人 浙江鑫柔科技有限公司
代理机构 北京市中伦律师事务所 代理人 杨黎峰;王奕勋
地址 314500浙江省嘉兴市桐乡市乌镇镇经发路302号9幢一层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种用于在基板上形成金属网格的方法，所述方法包括以下步骤：（1）在所述基板的一个表面上依次涂覆UV可固化材料、包含Pd复合材料、以及保护层材料；（2）将涂覆后的基板进行曝光和显影过程，以按照期望的图案在所述基板的表面上依次形成UV可固化层和Pd层；（3）通过还原剂将所述Pd层还原为Pd层；以及（4）在所述图案上镀铜，从而形成所述金属网格。本发明的在基板上形成金属网格的方法不需要单独的合成胶体钯纳米颗粒的过程，而是使用Pd作为涂覆材料，然后在湿法沉积的过程中使用还原剂将其还原为Pd，继而用作化学镀铜的催化剂，而且与现有工艺相比还有助于提高整个工艺的一致性。