一种用于在基材上形成金属网格的方法和装置
基本信息
| 申请号 | CN202111600525.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114489373A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114489373A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | G06F3/041（2006.01）I;C23C18/40（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 赵亚永;季成刚;严少泽;鹿轩;王钧;江建国 | 申请（专利权）人 | 浙江鑫柔科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市中伦律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 314500浙江省嘉兴市桐乡市乌镇镇环河东路908号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种用于在基材上形成金属网格的方法和装置，所述方法包括以下步骤：（1）在所述基材的一个或多个表面上依次施加光阻层和催化层；（2）对经步骤（1）处理的基材进行曝光和显影，以在所述基材的表面上形成预定图案；以及（3）对经步骤（2）处理的基材进行化学镀，以按所述预定图案在所述基材上形成所述金属网格，其中所述显影在超声波的存在下进行。在通过本发明所提供的方法和装置在基材上形成金属网格时，能够有效去除显影后线路附近的光阻及催化剂残留，从而显著减少镀铜后线路附近的残铜，所得金属网格触控传感器产品功能及外观良率有明显提升，并且本发明所提供的方法和装置还进一步具有减小金属网格线宽的效果。 |
