一种翻盖机构及真空腔体
基本信息
| 申请号 | CN202220265490.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216738524U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216738524U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘亮辉;肖蕴章;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人 | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种翻盖机构及真空腔体，涉及化学气象沉积领域，翻盖机构用于将盖体密封设于腔体上，所述翻盖机构包括驱动件、铰链基座、铰链轴、连接臂和弹性复位组件；所述铰链基座固定于所述腔体上，且开设有滑槽，所述铰链轴可移动地设置于所述滑槽中，所述连接臂的一端固定连接于所述盖体上，另一端与所述铰链轴转动连接，所述驱动件的一端铰接于所述盖体上，另一端铰接于所述腔体上，所述铰链基座上还开设有导向孔，所述导向孔与所述滑槽连通，所述弹性复位组件设于所述铰链基座上，且一侧伸入所述导向孔中与所述铰链轴抵接。弹性复位组件能够控制铰链轴的高度，控制盖体与腔体之间的距离，避免腔体被盖体刮蹭，以确保法兰结构密封性。 |
