一种工件更换机构及外延设备
基本信息
| 申请号 | CN202123367806.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216663229U | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN216663229U | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄帅帅;肖蕴章;刘亮辉;刘佳明;徐鑫;经军辉;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人 | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种工件更换机构及外延设备，涉及半导体生产技术领域。所述工件更换机构包括托盘、承载座、支撑板、抬升组件及移动组件；所述托盘上设有第一贯穿通孔，所述承载座上设有第二贯穿通孔，所述抬升组件能够依次穿过所述第二贯穿通孔和所述第一贯穿通孔抵持于所述工件上，并将所述工件与所述托盘分离；所述移动组件用于对分离后的所述工件进行替换。所述外延设备包括上述工件更换机构。本申请的所述工件更换机构采用自动化更换工件的方式代替了人工夹取，避免了人工夹取对工件表面造成的损坏，有利于提升产品的生产效率及良品率。 |
