一种晶圆平移机构及反应装置
基本信息
| 申请号 | CN202220482263.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216862855U | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN216862855U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B65G47/74（2006.01）I;B65G47/82（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 徐鑫;肖蕴章;杨方;陈炳安;钟国仿 | 申请（专利权）人 | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种晶圆平移机构及反应装置，涉及晶圆移动领域。所述晶圆平移机构包括：第一连接板、第一连接部、第一滑动组件、第二滑动组件、托盘、无杆气缸、第一惰轮组件、第二惰轮组件和过渡室，所述第一连接板上安装所述第一滑动组件，所述第一连接板上安装所述第二滑动组件，所述第二滑动组件上安装所述第一连接部，所述第一连接部上设置所述托盘，所述无杆气缸安装在所述过渡室内，所述无杆气缸的移动体与所述第一连接板相连，所述第一惰轮组件和所述第二惰轮组件均安装在所述第一连接板上。所述反应装置包括所述晶圆平移机构。通过第一惰轮组件和第二惰轮组件能将晶圆输送到更远的位置，提高晶圆输送效率。 |
