一种新型SAW滤波器的工艺制造流程
基本信息
| 申请号 | CN202110254501.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113067560A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113067560A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | H03H9/64;H03H3/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 王小伟;刘亚娟;汪洋 | 申请（专利权）人 | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴小灿 |
| 地址 | 201210 上海市浦东新区盛夏路570号808-809室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种新型SAW滤波器的工艺制造流程，通过在晶圆层上表面的粘合层上采用不同的金属材质形成不同厚度的刻蚀线路件，能够有利于形成可控的良好的电路侧壁形貌，避免因同一材质而产生的对较薄层刻蚀线路件的过度刻蚀，从而提高SAW滤波器产品良率和产量。 |
