声表面滤波器芯片多元化刻蚀方法
基本信息
| 申请号 | CN202110233278.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113067558A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113067558A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | H03H3/02;H03H9/02;C23F1/00 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 王小伟;刘亚娟;汪洋 | 申请（专利权）人 | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴小灿 |
| 地址 | 201210 上海市浦东新区盛夏路570号808-809室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种声表面滤波器芯片多元化刻蚀方法，通过将位于晶圆层上同一个电路层中的薄铝层刻蚀件归于薄铝层，厚铝层刻蚀件归于厚铝层，针对所述厚铝层采用湿法刻蚀，针对所述薄铝层采用干法刻蚀，该湿法刻蚀和干法刻蚀混合使用，既有利于满足声表面滤波器功能的实现，又有利于提高单位时间内的产品产量，还有利于克服单一刻蚀中去胶困难的问题。 |
