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一种光刻胶喷头清洁装置

基本信息

申请号 CN202023046584.6 申请日 -
公开（公告）号 CN214077445U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214077445U 申请公布日 2021-08-31
分类号 B05B15/555（2018.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 陈付磊;丁建峰;于玉斋;王刚;潘晓忠;姚志炎 申请（专利权）人 徐州美兴光电科技有限公司
代理机构 徐州市三联专利事务所 代理人 何君
地址 221000江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路98号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种光刻胶喷头清洁装置，包括光刻胶喷头、控制器、与光刻胶喷头连接的机械臂、设置在光刻胶喷头侧面的清洁喷头，机械臂、光刻胶喷头和清洁喷头分别与控制器连接；机械臂用于控制光刻胶喷头移动至清洁位置，当光刻胶喷头移动到位时，清洁喷头对光刻胶喷头进行喷液清洗，该清洁位置上设有与清洁喷头配合的废液回收槽，废液回收槽的下端设有废液回收管路。本实用新型可实现自动清洁喷嘴功能，避免人员接触丙酮，降低员工作业风险，在保证清洁效果的前提下，合理控制清洁溶液用量，从而降低生产成本；另外，常规清洁方式需要设备停止停机作业，而本实用新型的光刻胶喷头清洁装置，可减少设备停机时间，提高设备生产效率，提升产能。