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用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统

基本信息

申请号 CN202023047708.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214100952U 公开（公告）日 2021-08-31
申请公布号 CN214100952U 申请公布日 2021-08-31
分类号 H02J7/36（2006.01）I 分类 发电、变电或配电;
发明人 张胜;丁建峰;于玉斋;王刚;潘晓忠;姚志炎 申请（专利权）人 徐州美兴光电科技有限公司
代理机构 徐州市三联专利事务所 代理人 何君
地址 221000江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路98号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统，包括机械臂，所述机械臂内设有编码器，编码器与电池连接并由电池供电；所述机械臂通过电线与上连接线槽连接，所述上连接线槽布置在万能焊接板的上表面，每个上连接线槽与万能焊接板下表面的一个备用线槽和一个下连接线槽相对应，所述备用线槽和下连接线槽用于放置电池块。本实用新型的电池更换系统，利用不间断供电的方式，代替传统更换电池时直接拆掉电池进行更换的方式，避免了机械臂位置信息丢失，操作过程中更加快捷、方便。