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金属薄膜打印装置及打印方法

基本信息

申请号 CN201910344615.9 申请日 -
公开（公告）号 CN111842885B 公开（公告）日 2021-10-19
申请公布号 CN111842885B 申请公布日 2021-10-19
分类号 B22F3/105（2006.01）I;B33Y30/00（2015.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y50/02（2015.01）I;C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分类 铸造；粉末冶金;
发明人 郝征;李志丹 申请（专利权）人 上海微电子装备（集团）股份有限公司
代理机构 上海思捷知识产权代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201203上海市浦东新区张东路1525号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种金属薄膜打印装置及打印方法，框架提供模块向载粉平台提供支撑框架，并使支撑框架的上表面与载粉平台的上表面齐平以对接，铺粉单元每在载粉平台上铺设一层金属粉末，第一激光发生模块发出激光并选择性的熔化载粉平台上的金属粉末直至形成金属薄膜，金属薄膜的边缘位于所述支撑框架上，以使传输模块能够将所述支撑框架及所述金属薄膜同时移走，本发明利用3D打印技术直接在支撑框架上打印金属薄膜，从而简化了工艺，制备成本较低，并且避免金属薄膜的损坏。