一种扰动力生成装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010199517.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113495010A | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113495010A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | G01M99/00（2011.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 游继光 | 申请（专利权）人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种扰动力生成装置及方法。其中，扰动力生成装置包括：流体源；至少一个扰动力调节单元，任一扰动力调节单元的入口与流体源的出口连通，任一扰动力调节单元包括：扰动力波动值生成支路，扰动力波动值生成支路的入口与扰动力调节单元的入口连通，扰动力波动值生成支路的出口与扰动力调节单元的出口连通；扰动力波动值生成支路包括：高频开关阀和第一流量调节模块，高频开关阀与第一流量调节模块串联连通。本发明实施例的技术方案中的扰动力生成装置可生成频率和波动范围可调的扰动力。 |
