一种掩模版、运动台定位误差补偿装置及补偿方法
基本信息
| 申请号 | CN201910152262.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111624856B | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN111624856B | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 吴丽丽 | 申请（专利权）人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掩模版、运动台定位误差补偿装置及补偿方法。所述掩模版包括测量标记；所述测量标记包括至少一个测量单元，所述测量单元包括两个标记组，所述标记组包括X向标记和Y向标记，所述X向标记包括至少一个X向光栅和X向定位标记，所述Y向标记包括至少一个Y向光栅和Y向定位标记；所述两个标记组包括第一标记组和第二标记组，所述第一标记组定位的中心为第一中心，所述第二标记组定位的中心为第二中心，所述测量标记顺时针或逆时针旋转90°后，所述第一中心与未旋转前所述第二中心重合。本发明实施例提供的技术方案，实现了运动台高阶形变的校正，且可适用于在线周期性校准。 |
