四象限传感器的标定方法、掩模传输分系统和光刻设备
基本信息
| 申请号 | CN201910360970.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111856894B | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN111856894B | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | G03F9/00 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 赵远祎;周文贤;朱正平;唐文力;牛增欣;王青亮;季桂林 | 申请（专利权）人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种四象限传感器的标定方法、掩模传输分系统和光刻设备。其中，四象限传感器的标定方法包括：将待测工件装载上运动单元至对准位；微动运动单元至第一四象限传感器给出的第一方向坐标值、第二方向坐标值以及第二四象限传感器给出的第二方向坐标值均为0；保持运动单元在第一坐标方向的坐标不变，移动运动单元在第二坐标方向运动，以带动待测工件在第二四象限传感器的两个线性区边界之间移动，其中，两个线性区边界之间包括至少一段线性区，线性区为第二四象限传感器接收到的光强与光源的光强呈线性关系的区域；基于第二四象限传感器采集的多个数据，完成对第二四象限传感器的标定。本发明解决了掩模预对准精度及效率低的问题。 |
