高纯氨的充装装置
基本信息
| 申请号 | CN202023336122.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215569703U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215569703U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | F17C5/02（2006.01）I;F16L53/30（2018.01）I;F16L53/38（2018.01）I;F16L59/02（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 潘佳伟;丁高松;赵晓兰;邹伟;鄢芝勇;李杰 | 申请（专利权）人 | 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴海创专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑文涛 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路38号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种高纯氨的充装装置，它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器，其特征在于，所述的充装管一段连接汽化器另一端连接液化器，所述的汽化器与抽送泵连接，所述的充装管外表面缠绕有加热管，所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的保温层，所述的加热管内具有冷媒介质，加热管一端封闭另一端连接有加热组件，所述的液化器出口处设有弧形且朝下弯曲的出液管。该充装装置通过缠绕式的加热管和包裹上保温层，使充装管内部气态氨维持气态所需的温度，充装效率高。 |
