量子阱红外探测器

基本信息

申请号 CN201020187207.1 申请日 -
公开(公告)号 CN201699035U 公开(公告)日 2011-01-05
申请公布号 CN201699035U 申请公布日 2011-01-05
分类号 H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘燕君 申请(专利权)人 无锡沃浦光电传感科技有限公司
代理机构 上海硕力知识产权代理事务所 代理人 王法男
地址 214122 江苏省无锡滨湖区锦溪路100号9号楼10楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种量子阱红外探测器,采用了GaAs/AlxGa1-xAs材料体系,利用MBE或者MOCVD技术生长,通过标准的半导体工艺制备。本实用新型的量子阱结构GaAs势阱层的厚度为所述AlxGa1-xAs势垒层的厚度的15~20倍,多量子阱层一个周期的厚度为80~120nm,多量子阱层的周期数为15~20,使探测器能够在室温或者准室温状态工作,吸收系数达30%以上,实现了对暗电流的有效抑制,从而大大减小了器件噪声,探测率可达到或者接近理论极限值,响应速度高于1GHz,最高可达100GHz。