量子阱红外探测器
基本信息
| 申请号 | CN201010130063.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102201482A | 公开（公告）日 | 2011-09-28 |
| 申请公布号 | CN102201482A | 申请公布日 | 2011-09-28 |
| 分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘惠春;杨耀 | 申请（专利权）人 | 无锡沃浦光电传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑玮 |
| 地址 | 214122 江苏省无锡市滨湖区锦溪路100号9号楼10楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种量子阱红外探测器，采用了GaAs/AlxGa1-xAs材料体系，利用MBE或者MOCVD技术生长，通过标准的半导体工艺制备。本发明的量子阱结构具有特定的结构参数，势阱的硅杂质掺杂浓度高于1×1012cm-2，使探测器能够在室温或者准室温状态工作，吸收系数达30％以上，实现了对暗电流的有效抑制，从而大大减小了器件噪声，探测率可达到或者接近理论极限值，响应速度高于1GHz，最高可达100GHz。 |
