一种晶圆切割切口检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201921763927.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211179565U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211179565U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陆孙华 | 申请（专利权）人 | 苏州英尔捷微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州英尔捷微电子股份有限公司 |
| 地址 | 215228江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用公开了一种晶圆切割切口检测装置，包括操作台，所述操作台侧板的一侧固设有第一暗箱，所述操作台侧板的另一侧固设有第二暗箱，所述第一暗箱和第二暗箱的底部均安设有箱盖。本实用设置了第一暗箱和第二暗箱，而且第二暗箱与第一暗箱相互交替工作，当第一暗箱的内部在对晶圆进行检测的同时，可以对第二暗箱进行下料与上料操作，使得上料、检测以及下料三者互不影响，而且不用停顿的交替循环进行，大大的提高了检测效率，而且分别在第一暗箱和第二暗箱的底部均设置有液压杆，使用时，通过液压杆的作用，可以带动第一暗箱和第二暗箱的下方的承载台交替式的上下移动，使用起来更加的自动化，方便上料与下料。 |
