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一种晶圆切割自动装夹装置

基本信息

申请号 CN201921762350.6 申请日 -
公开（公告）号 CN211518098U 公开（公告）日 2020-09-18
申请公布号 CN211518098U 申请公布日 2020-09-18
分类号 B28D5/00(2006.01)I 分类 -
发明人 陆孙华 申请（专利权）人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
地址 215228江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆切割自动装夹装置，包括第一底座、第二底座、伸缩缸、主动辊和从动辊，第一底座上通过第一安装座固定有伺服电机，主动辊和从动辊表面套设有传送带，传送带外表面设置有格栅，第二底座的上部固定有伸缩缸，第二底座上部固定有第一支板和第二支板，第一支板与第二支板的上部固定连接有切割平台，切割平台上开设有槽口，槽口沿切割平台的对角线开设，槽口内分别设置有第一定位柱和第二定位柱。本实用新型通过设置伺服电机、L型连接杆、伸缩缸、传送带、第一定位柱、螺母、第二定位柱、切割平台、槽口和控制器，解决了人工装夹晶圆切割质量差，切割效率低且工人劳动强度大的问题。