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一种晶圆切割分离装置

基本信息

申请号 CN201921763766.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211518101U 公开（公告）日 2020-09-18
申请公布号 CN211518101U 申请公布日 2020-09-18
分类号 B28D5/02(2006.01)I 分类 -
发明人 陆孙华 申请（专利权）人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
地址 215228江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆切割分离装置，包括滑轨和工作台，所述滑轨的内部安装有丝杆，且丝杆的右端与第一伺服电机的输出端转动连接，所述丝杆上转动连接有滑杆，且滑杆的下端固定有旋转机构，所述工作台上固定有第二伺服电机，且第二伺服电机的输出端与电动推杆转动连接，所述电动推杆的上端卡接有圆盘，所述圆盘的上端固定有固定座，且固定座上固定有挡片，所述圆盘的下部安装有紧固螺栓，且紧固螺栓穿过电动推杆和圆盘与螺母转动连接。本实用新型通过设置丝杆、滑杆、旋转机构、第一伺服电机、圆盘、电动推杆、第二伺服电机、螺母和紧固螺栓，解决了切割分离装置结构复杂不易切割分离且不可旋转和不可拆卸实用性不佳的问题。