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一种分架式晶圆清洗装置

基本信息

申请号 CN201821636253.8 申请日 -
公开（公告）号 CN208873703U 公开（公告）日 2019-05-17
申请公布号 CN208873703U 申请公布日 2019-05-17
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 陆孙华 申请（专利权）人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 苏州英尔捷微电子股份有限公司
地址 215000 江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种分架式晶圆清洗装置，包括溶液箱，溶液箱的底部安装有第一支脚和第二支脚，溶液箱的顶部安装有盖板，盖板的内部安装有第二活动轴，第二活动轴的一侧安装有第二滚筒，第二滚筒的表面安装有第二毛刷，溶液箱的内部安装有第一活动轴，第一活动轴的一侧安装有第一滚筒，第一滚筒的外部安装有第一毛刷，第一支脚的一侧安装有第二限位块，第二支脚的一侧安装有第一限位块，第一限位块和第二限位块的中间位置设置有过滤斗，过滤斗的底部设置有滤网，滤网的底部安装有回收桶。本实用新型通过设置输入管、压力泵、输出管、过滤斗、滤网、第一活动轴和第一毛刷解决了现有晶圆清洗装置清洗不够全面高效和无法循环使用耗费成本的问题。