一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机
基本信息
| 申请号 | CN201921762461.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211163462U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211163462U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | B24B37/34(2012.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陆孙华 | 申请（专利权）人 | 苏州英尔捷微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州英尔捷微电子股份有限公司 |
| 地址 | 215228江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆研磨用具有自动卸料功能的研磨机，包括底座，所述底座上端两侧通过支杆固定连接有横杆，所述横杆上端中部贯穿连接有伺服缸，且伺服缸底端通过第二伺服电机活动连接有连接杆，所述连接杆底端中部通过总螺管螺纹连接有螺杆，且螺杆底端固定连接有研磨盘，所述底座顶部中段固定连接有工作箱，所述工作箱一侧下部通过第一伺服电机转动连接有轴杆，所述轴杆前端通过偏心块分别转动连接有第一研磨板和第二研磨板。本实用新型通过设置总螺管、第一分螺管、第二分螺管、第三分螺管、伸缩杆、第一固定夹、第二固定夹和偏心块结构，具有提高研磨效率，实现自动下料和节约成本的优点。 |
