微电容式麦克风系统及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN200310112933.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1635820A | 公开（公告）日 | 2005-07-06 |
| 申请公布号 | CN1635820A | 申请公布日 | 2005-07-06 |
| 分类号 | H04R19/01;H04R31/00 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 王云龙 | 申请（专利权）人 | 无锡产业发展集团有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 美国通用微机电系统公司;无锡芯奥微传感技术有限公司 |
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微电容式麦克风系统，包括由若干个微电容式单元排列形成的可伸缩式麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线，在薄膜两侧分别形成一接地电极，两接地电极与中心信号线共同构成传输线。本发明还提供一种制造前述微电容式麦克风系统的方法。本发明的电容式麦克风具有灵敏度高、稳固性好的优点，且在宽频带使用时具有均匀频响。 |
