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一种涂层机的载料装置

基本信息

申请号 CN202021871617.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213825684U 公开（公告）日 2021-07-30
申请公布号 CN213825684U 申请公布日 2021-07-30
分类号 B05C11/10（2006.01）I;B05C13/00（2006.01）I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 王俊锋;袁明;谢文荣;秦兴耀;王锋 申请（专利权）人 广东鼎泰机器人科技有限公司
代理机构 东莞市华南专利商标事务所有限公司 代理人 袁敏怡
地址 523000广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的载料装置，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩底壁，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台和真空罩底壁实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。