一种竖直移动式InSb晶片退火装置
基本信息
| 申请号 | CN201721762437.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207751317U | 公开（公告）日 | 2018-08-21 |
| 申请公布号 | CN207751317U | 申请公布日 | 2018-08-21 |
| 分类号 | F27B13/00;F27B13/14;F27D5/00;F27D7/06;H01L43/12;H01L43/14 | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 郑律 | 申请（专利权）人 | 江苏森尼克电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 江苏森尼克电子科技有限公司;浙江森尼克半导体有限公司 |
| 地址 | 215634 江苏省苏州市张家港保税区新兴产业育成中心4栋253A室(森尼克) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种竖直移动式InSb晶片退火装置，其可使多个InSb晶片的退火环境一致。一种加热炉竖直移动式InSb晶片退火装置，包括：加热炉，沿竖直方向依次包括预热区、退火区及保温区三个温区，所述加热炉具有贯通所述三个温区的炉腔；石英管，插设在所述加热炉的炉腔中且二者能够沿竖直方向相对移动，所述石英管内腔安置有石英舟，用于承载多个自下至上水平放置的InSb晶片，所述石英舟置于所述石英管的内腔底部；该退火装置具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态时，所述石英管内的石英舟位于所述之预热；在所述第二工作状态时，是通过加热炉的缓慢移动，使所述石英管内的盛载待退火的InSb晶片石英舟逐步依次通过加热区，并最后进入保温区，进而完成退火处理的全部过程，石英舟托底部的热偶将记录在整个退火过程中的全部温度变化数据。 |
