一种直拉式单晶硅生产方法和装置及系统
基本信息
| 申请号 | CN202011124876.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112226812A | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN112226812A | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | C30B15/26;C30B29/06;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/187;G06T7/60 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 严超;司泽;陈俊良;李志轩 | 申请（专利权）人 | 北京图知天下科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 北京图知天下科技有限责任公司 |
| 地址 | 100089 北京市海淀区中关村东路66号1号楼5层0606 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种直拉式单晶硅生产方法和装置及系统，属于直拉式单晶硅生产领域，通过获取导流筒出口包括液面和倒影的图像，实时调整坩埚和导流筒间的距离，使熔融硅液面与导流筒间距离不变。本发明使用图像测距的方案，无需使用硬件传感器，成本较低。同时能保证相应方法在不同设备条件下均能完成对距离的测量，无须对每个设备都进行精细校准调试。 |
