硅片生产控制方法、电子设备和计算机可读存储介质
基本信息
申请号 | CN202011211356.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112527586A | 公开(公告)日 | 2021-03-19 |
申请公布号 | CN112527586A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
分类号 | G06F11/26;G06F11/36 | 分类 | 计算;推算;计数; |
发明人 | 周坤;李世鑫 | 申请(专利权)人 | 上海赛美特软件科技股份有限公司 |
代理机构 | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 成丽杰 |
地址 | 201103 上海市闵行区吴中路1199号1幢872室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明实施例涉及硅片制造领域,公开了一种硅片生产控制方法、电子设备和计算机可读存储介质。上述硅片生产控制方法包括:获取待处理硅片上的晶圆体的测试信息;根据所述测试信息,确定所述待处理硅片的良率;根据所述良率和预设的N个良率区间,确定所述待处理硅片所属的良率区间;其中,N是大于2的整数;根据所述待处理硅片所属的良率区间,对所述待处理硅片进行与所述所属的良率区间相对应的处理。本发明实施例提供的硅片生产控制方法,可以改善硅片生产一刀切的情况,对硅片的生产过程进行精细化管理,从而缩短硅片生产周期,提高硅片的生产效率。 |
